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光學
核心技術
CORE TECHNOLOGY
硅光
在硅基晶圓上實現光子系統的芯片集成和進一步的芯片光電集成,既減小了芯片尺寸,降低成本、功耗,又提高了可靠性。利用基于硅材料的CMOS微電子工藝實現光子器件的集成制備。被業界認為是延續摩爾定律發展的技術之一。
硅光子芯片集成技術
硅光
可調諧光子技術,指在一定范圍內連續改變激光器波長的技術。調頻連續波(FMCW)、光頻域反射(OFDR)、激光掃頻干涉(FSI)等精密測量技術要求激光器必須能夠大范圍無跳模連續掃頻,并且高掃頻線性度及窄線寬。
可調諧光子技術
硅光
高精度激光測量技術,是指通過高線性度掃頻激光來實現高精度和高分辨率測量的技術。如基于FMCW的激光雷達可以實現亞微米量級的空間測距精度;而基于OFDR的光傳感技術可用于應變、溫度、色散等參量超高靈敏度及空間分辨率的檢測。
高精度激光測量技術
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